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本实用新型公开了一种沉积炉粉尘过滤装置，包括过滤罐罐体和滤芯；所述过滤罐罐体一端开口，另一端闭合，开口处采用过滤罐端盖进行密封；所述滤芯可更换地安装在过滤罐罐体内；所述过滤罐罐体上设有主进气口、副进气口和排气口；所述主进气口、副进气口靠近过滤罐罐体的开口端设置，并与滤芯内部形成气体流通通道；所述排气口靠近过滤罐罐体的闭合端设置，经滤芯过滤除尘后的气体从排气口向外排出。该装置主要应用于沉积炉尾气的过滤，该装置具有双入口进气功能，根据炉压进行双进气口切换，能够保证在不同压力大，抽气量均匀，从而保证了
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219663201 U
(45)授权公告日 2023.09.12
(21)申请号 202321008038.4
(22)申请日 2023.04.28
(73)专利权人 江苏协鑫特种材料科技有限公司
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