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射频高气压混合气体放电数值研究的中期报告 射频高气压混合气体放电数值研究旨在通过数值模拟方法，解析射频高气压混合气体放电过程中等离子体的形成及演化规律。本次报告为该研究的中期报告，主要介绍研究进展及初步结果。 一、研究进展 本次研究的主要进展包括以下方面： 1. 建立了射频高气压混合气体放电数值模型，该模型基于非平衡等离子体动力学（NED）模型，考虑了多种物理与化学反应过程，如电子、离子和中性粒子的输运、能量传递与辐射，物种之间的化学反应等。 2. 针对模型的求解方法，本研究采用隐式算法，结合自适应网格技术和多重网格技术，提高了模型的数值稳定性和计算效率。 3. 基于上述模型和数值方法，本研究开展了射频高气压氩气放电和氮气放电的数值模拟，初步揭示了等离子体形成和演化规律。 二、初步结果 1. 射频高气压氩气放电 在射频高气压氩气放电模拟中，我们观察到了以下现象： （1）在初始阶段，随着电压的升高，电场强度加大，电子开始加速，电子能量迅速提高。 （2）在放电过程中，氩气被电场激发，电离出大量电子和离子，等离子体开始在电极之间形成。 （3）等离子体演化在气体中发生，包括电子、离子和中性粒子的输运和能量传递、化学反应等复杂过程。随着时间的推移，等离子体的密度和能量分布出现了各种变化。 （4）最终，电极之间形成了一片等离子体区域，等离子体密度达到了一定稳定值，并伴有一定的电子温度和离子温度。在此过程中，电极表面也反映了一定的放电特征，如电子注和亮丝等。 2. 射频高气压氮气放电 在射频高气压氮气放电模拟中，我们观察到了以下现象： （1）在初始阶段，随着电压的升高，电场强度加大，电子开始加速，电子能量迅速提高。 （2）在放电过程中，氮气被电场激发，电离出大量电子和离子，等离子体开始在电极之间形成。 （3）随着时间的推移，等离子体的密度和能量分布出现了各种变化，表现为亮斑和暗斑等区域。 （4）最终，电极之间形成了一片等离子体区域，等离子体密度达到了一定稳定值，并伴有一定的电子温度和离子温度。在此过程中，电极表面也反映了一定的放电特征，如电子注和亮丝等。 三、结论与展望 以上结果表明，建立的数值模型和求解方法可以较为准确地描述射频高气压混合气体放电过程中等离子体的形成和演化规律。未来，我们将继续拓展模型的适用范围，探究射频高气压混合气体放电过程中的更多现象，并与实验结果对比验证模型的准确性和可靠性。