原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请公开了一种探卡盘角度调节机构，其特征在于，包括：主动件，主动件上形成有调节空间；被动件，被动件的一端设置于内测试盘上，另一端穿设于调节空间内，并与调节空间活动配合；直线调节装置，直线调节装置具有底座、丝杆和活动块；底座安装于外测试盘上，活动块与主动件连接，并与底座之间形成沿第一方向的滑动连接结构，丝杆通过轴承连接于底座上，且其延伸方向为第一方向；活动块穿设于丝杆上，且与丝杆螺纹连接，当丝杆被转动时，活动块可带动主动件沿第一方向移动，使得被动件在主动件的调节空间作用下带动内测试盘绕其轴线转动
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219676111 U
(45)授权公告日 2023.09.12
(21)申请号 202320610554.8
(22)申请日 2023.03.24
(73)专利权人 北京柯泰光芯半导体装备技术有
文档评论（0）