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2.2　电容式传感器 电容式传感器的电容值一般十分微小（几皮法至几十皮法），这样微小的电容不便直接显示、记录或传输，因此，需要借助测量电路将其转化为电压、电流或频率信号。电容式传感器的测量电路种类很多，下面介绍一些常用的测量电路。1.桥式电路　图2-19所示为桥式测量转换电路，其中图2-19a为单臂接法的桥式测量电路，1MHz左右的高频电源经变压器接到电容桥的一条对角线上，电容C1、C2、C3、Cx构成电桥的四臂，Cx为电容传感器。当Cx改变时，o不为0，桥路有输出电压。在图2?19b中，Cx1、Cx2为传感器的两个差动电容，电桥的空载输出电压为 当前第31页\共有84页\编于星期二\13点 2.2　电容式传感器 图2-19　电容式传感器的桥式电路a)单臂接法　b)差分接法 2.运算放大器式电路　如图2-20所示，Cx为传感器电容，它跨接在高增益运算放大器的输入端和输出端之间。 当前第32页\共有84页\编于星期二\13点 2.2　电容式传感器 图2-20　运算放大器式电路 3.调频电路　调频电路是将电容式传感器作为LC振荡器谐振回路 当前第33页\共有84页\编于星期二\13点 2.2　电容式传感器 的一部分，或作为晶体振荡器中石英晶体的负载电容。f=1/2π(2?14) 图2-21　LC振荡器调频电路框图 4.脉冲宽度调制电路　脉冲宽度调制电路是通过对传感器电容进行充放电，使电路输出脉冲的宽度随电容式传感器的电容量而变化，再通过低通滤波器得到对应于被测量变化的直流信号。 当前第34页\共有84页\编于星期二\13点 2.2　电容式传感器 如图2?22所示，脉冲宽度调制电路由电压比较器、双稳态触发器及电容充放电回路组成，其中C1、C2为差动电容式传感器。经分析推导，可得 1.tif 当前第35页\共有84页\编于星期二\13点 2.2　电容式传感器 图2-22　脉冲宽度调制电路 　电容式传感器的应用 当前第36页\共有84页\编于星期二\13点 2.2　电容式传感器 电容式传感器可用来测量直线位移、角位移、振动振幅（可测量0．05μm的微小振幅），尤其适合测量高频振动振幅、精密轴系回转准确度、加速度等机械量，还可用来测量压力、差压、液位、料位、粮食中的水分含量、非金属材料的涂层、油膜厚度、电介质的湿度、密度、厚度等。在自动检测和控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。下面简单介绍几种电容传感器的应用。1.电容式位移传感器　图2-23所示为一种变面积式位移传感器的结构示意图，这种传感器采用差动形式，具有良好的线性度。 图2-23　电容式位移传感器1—开槽簧片　2—测杆3—活动电极　4—固定电极 当前第37页\共有84页\编于星期二\13点 2.2　电容式传感器 2.差动式电容压力传感器　图2-24所示为一种典型的差动式电容压力传感器的结构示意图，传感器中的金属动膜片与电镀金属上下表面形成两个可变电容。差动式电容压力传感器比单极式的电容式传感器灵敏度高、线性好，但加工较困难，不易实现对被测气体或液体的密封，因此这种结构的传感器不宜工作在含腐蚀或其他杂质的流体中。3.电容式加速度传感器　图2-25所示为一种典型的电容式加速度传感器的结构示意图。 图2-24　差动式电容压力传感器1—垫圈　2—金属动膜片　3—玻璃4—过滤器　5—电镀金属表面层 当前第38页\共有84页\编于星期二\13点 2.2　电容式传感器 图2-25　电容式加速度传感器1、5—固定极板　2—壳体　3—弹簧片4—质量块　6—绝缘体 当前第39页\共有84页\编于星期二\13点 2.2　电容式传感器 4.电容式料位传感器　图2-26所示为用电容式传感器测量固体块状、颗粒体及粉状物料位的原理图。如图2?26a所示，用金属电极棒插入容器来测量料位时，电容式料位传感器的电容C与料位H的关系为5.电容式测厚仪　如图2-27所示为电容式测厚仪的工作原理图，用于金属带材在轧制过程中的厚度测量。 图2-26　电容式料位传感器a)电极棒测料位　b)绝缘棒测料位1—电极棒　2、4—容器壁3—钢丝绳　5—绝缘材料 当前第40页\共有84页\编于星期二\13点 2.2　电容式传感器 图2-27　电容式测厚仪1—金属带材　2—电容极板3—导向轮　4—轧辊 当前第41页\共有84页\编于星期二\13点 2.2　电容式传感器 6.电容式油量表　如图2-28所示为电容式油量表的工作原理图，用于测量油箱中的油位。 当前第42页\共有84页\编于星期二\13点 2.2　电容式传感器 图2-28　电容式油量表1—油箱　2—圆柱形电容器　3—伺服电动机　4—减速箱　5—油量表 当前第43页\共有84页\编于星期二\13点 2.2　电容式传感器 　电容式传感器的使