氮化硅薄膜制备技术.pptVIP

第一页，共十一页，2022年，8月28日 什么叫做光学薄膜？ 所谓光学薄膜，首先它应该是薄的 然后它应该会产生一定光学效应的 那么要薄到什么程度呢？ 定性的讲：它的厚度应该和入射光波长可以相 比拟的 物理意义上讲：能引起光的干涉现象的膜层 第二页，共十一页，2022年，8月28日 与镀膜技术密切相关的产业 眼镜镀膜----AR 幕墙玻璃----AR 滤光片 液晶领域----ITO膜 车灯、冷光镜、舞台灯光滤光片 光通信领域：DWDM、光纤薄膜器件 红外膜 激光领域----激光反射腔高反射膜 CD、DVD驱动器 投影显示 数码领域 第三页，共十一页，2022年，8月28日 氮化硅薄膜是一种重要的精细陶瓷薄膜材料，具有优秀的光电性能、钝化性能、稳定性能和机械性能，在微电子、光电和材料表面 改性等领域有着广阔的应用前景。近年来，氮化硅薄膜作为太阳能电池的减反射膜越来越引起人们的关注。利用氮化硅薄膜作为减反射膜、绝缘层以及钝化层等已取得了较好的效果。作为减反射膜，氮化硅薄膜具有良好的光学性能(其折射率在2.0左右）比传统的二氧化硅减反膜具有更好的减反效果。 氮化硅应用介绍 第四页，共十一页，2022年，8月28日 氮化硅薄膜