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本发明公开了一种基于差分干涉对比度的激光扫描线共焦表面缺陷检测设备及方法，该设备主要包括激光器、第一反射镜、第二反射镜、扩束镜、起偏器、分光镜、沃拉斯顿棱镜、第三反射镜、光束扫描装置、F‑theta远心场镜、第四反射镜、柱状椭面镜、线形光纤束、滤光片、光电倍增管、被测元件、检偏器、透镜、光电探测器、光电二极管。本发明能够高速、高精度检测被测样品的表面缺陷，并根据差分干涉对比度信号识别缺陷的凹凸类型，且具有光学断层能力，能够排除透明光学元件背面散射光影响。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116754563 A
(43)申请公布日 2023.09.15
(21)申请号 202310742663.X
(22)申请日 2023.06.21
(71)申请人 合肥工业大学智能制造技术研究院
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