掩膜结合力测试方法.pdfVIP

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2023-09-16 发布于四川
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掩膜结合力测试方法.pdf

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本申请涉及一种掩膜结合力测试方法。测试方法包括如下步骤：在基材的表面放置隔离件，使所述隔离件遮蔽所述基材的部分表面。在所述隔离件的部分表面制备测试掩膜，并使所述测试掩膜延伸至所述基材裸露的表面。通过对所述隔离件裸露的部分施加作用力以使所述测试掩膜与所述基材完全分离，并测试所述作用力的大小。该测试方法中，在基材和测试掩膜之间设置隔离件，隔离件遮蔽基材的部分表面，同时使隔离件的部分表面裸露。通过对隔离件裸露的部分施加作用力以使测试掩膜与基材完全分离，并测试作用力的大小。这样可以通过作用力的大小来反映

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116754474 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310648025.1 (22)申请日 2023.05.29 (71)申请人通威太阳能（成都）有限公司地址