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本发明涉及一种晶棒切削装置和晶片生产系统，晶棒切削装置包括：切削网，晶棒横置于所述切削网处，所述切削网对所述晶棒进行切削，以在所述晶棒底部形成切缝；喷液头，位于所述晶棒的上方并对所述晶棒的顶部喷淋切削液；及喷气头，朝向所述切缝设置。切削液对晶棒整个外壁面为浸泡式效果，切缝开口处具有足够的切削液，借由冷却气流可以将切缝开口处的切削液吹入切缝内，从而实现切缝内部的降温。即使切缝开口处的切削液量不足，至少可以通过冷却气流实现切缝内部的冷却作用，确保切缝内部的散热效果。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116749371 A
(43)申请公布日 2023.09.15
(21)申请号 202311074274.0 B24B 29/02 (2006.01)
(22)申请日 2023.08.
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