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镀膜晶圆快速夹持机构.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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镀膜晶圆快速夹持机构.pdf

    本实用新型提供镀膜晶圆快速夹持机构，涉及夹持机构技术领域。该镀膜晶圆快速夹持机构，包括两个连接板，两个所述连接板之间设有两个相对设置的夹持座，两个所述夹持座一侧均设有夹持板，所述夹持板一侧固定连接有连接杆，所述连接杆贯穿夹持座并与夹持座转动连接，两个所述连接板之间设有转动杆和丝杆，该镀膜晶圆快速夹持机构，电动推杆推动连接板至晶圆放置平台上，此时通过启动第二伺服电机，使第二伺服电机的输出端带动固定连接的丝杆进行转动，从而使两个夹持座进行相对移动，使夹持座一侧的夹持板对晶圆进行夹持，从而对不同尺寸的

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219696437 U (45)授权公告日 2023.09.15 (21)申请号 202320478949.7 (22)申请日 2023.03.14 (73)专利权人 徐州联超光电科技有限公司 地址

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