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一种石墨舟卡点及石墨舟片.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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一种石墨舟卡点及石墨舟片.pdf

    本实用新型公开了一种石墨舟卡点，包括安装部、承载部和卡接部，所述安装部为非圆柱形柱体，所述安装部上端设有所述承载部，绕所述承载部上端周向上设有至少两个所述卡接部，所述卡接部为任意形状，且每个卡接部形状互不相同，将卡接部设置成不规则的形状，利用不规则形状的卡点在硅片上形成卡点印标记硅片，能在硅片出现异常现象时可根据不同的卡点印快速追踪所对应的石墨舟，查看石墨舟是否有异常，提升追溯异常的速度，提高工作效率，将安装部设置成非圆柱形柱体，使石墨舟卡点能稳定的固定住。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219689852 U (45)授权公告日 2023.09.15 (21)申请号 202321152861.2 H01L 31/18 (2006.01) (22)申请日 2023.05.

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