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本申请提供了一种补充H2O2液体的控制方法、其控制装置和其控制系统。该方法包括：首先，获取预定半导体结构的参数信息；然后，在参数信息满足预定条件的情况下，根据离子注入浓度的大小以及离子注入能量的大小确定第一体积；最后，将预定半导体结构放入反应腔之前，控制向反应腔中通入第一体积的H2O2液体，反应腔中具有H2O2和H2SO4的混合液。该方法通过离子注入浓度的大小以及离子注入能量的大小确定第一体积，使得不同的参数信息的预定半导体结构对应不同的反应前所需补充H2O2液体的体积，进而解决了现有技术中去除
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116759348 A
(43)申请公布日 2023.09.15
(21)申请号 202311043567.2
(22)申请日 2023.08.18
(71)申请人 合肥晶合集成电路股份有限公司
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