机械工程测试技术第三章.pptVIP

半导体材料重要特性是对光、热、力、磁、气体、温度等理化量的敏感 性。近代半导体技术利用这些特性，作为非电量电测的转换元件。 特点：（1）是一些物性型传感器；（2）结构简单，体积小，重量轻； （3）功耗低，安全可靠，寿命长；（4）对被测量敏感，响应快； （5）易于实现集成化；（6）输出一般为非线性，常采用线性化电路； （7）温度影响大，需要温度补偿措施；（8）性能参数分散性较大。 一．磁敏传感器 分类：（1）霍尔元件 （2）磁阻元件 （3）磁敏管 （一）霍尔元件 霍尔元件——种半导体磁电转换元件。一般由锗（Ge）、锑化铟（InSb）、砷化铟（InAs）等半导体材料制成。它利用霍尔效应进行工作。如图3-38所示，将霍尔元件置于磁场 B 中，如果在 a, b 端通以电流 i 在 c, d 两端就会出现电位差，称为霍尔电势 VH，此现象叫霍尔效应。 第八节 半导体传感器 * 第六十二页，共一百零八页，2022年，8月28日 B i i a d c b i VH a) B d b c a i N型 v FE FL 电子受 力方向 b) 图3-38 霍尔元件及霍尔效应原理 a) 霍尔元件 b) 霍尔效应原理 假定把N型半导体薄片放在磁场中，通固定电流i ，半导体中载流子（电子） 将沿着与电流方向相反方向运动。从物理学知，任何带电质点在磁场中沿着 和磁力线垂直的方