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一种热场调节结构、单晶炉及单晶硅棒分割方法.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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一种热场调节结构、单晶炉及单晶硅棒分割方法.pdf

    本发明公开一种热场调节结构、单晶炉及单晶硅棒分割方法。该热场调节结构应用于单晶炉内，其包括：控制装置及移动保温组件，其中，移动保温组件设置于单晶炉内的导流筒和保温筒之间的空间；控制装置与移动保温组件连接，用于在单晶炉内的坩埚与导流筒相对位置发生变化的情况下，驱动移动保温组件在导流筒和保温筒之间的空间内移动，以调整位于硅溶液液面上方的空间。该热场调节结构应用到单晶炉后，能够减少单晶炉内的热量损失，并使硅溶液的温度梯度得到比较好地调控，以保证大尺寸晶体能够正常生长。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116752227 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310909015.9 B28D 5/00 (2006.01) (22)申请日 2023.07.2

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