抛光机及调平方法.pdfVIP

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本发明涉及一种抛光机及调平方法,该抛光机包括:上机架,相对上盘中心轴可活动地设置;接液结构,包括连接盘和接液环,连接盘固定连接于上盘中心轴,接液环固定连接于连接盘;刷头,至少部分位于接液环内,以与接液环内壁接触;第一驱动件,连接于上机架,用于驱动刷头转动;检测单元,用于检测第一驱动件的负载;及调平单元,可活动地设置于上机架。通过第一驱动件驱动刷头转动便能刷掉接液环内壁上的结晶,从而避免接液环内壁上形成的结晶脱落后划伤抛光中的产品。通过检测第一驱动件的负载,可以判断刷头是否在上机架调平的状态下工作

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116749054 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202311037346.4 B24B 41/02 (2006.01) (22)申请日 2023.08.

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