原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种修整方法，通过修整装置修整抛光垫，修整轮设置于外齿齿轮及内齿齿轮之间，并能够在外齿齿轮及内齿齿轮的带动下同时发生自转和公转；修整轮本体设有多组圆心与修整轮本体的圆心之间的距离不同的通孔，修整件可拆卸地安装于通孔内；根据公式：，以及预设的去除速率MRR，调整修整件的数量、位置及相对于抛光垫的运动速度。这样就能够在不更换修整轮本体的情况下实现对抛光垫整体和局部的形状进行修整，允许选择的范围较广；根据公式来调节修整件使得调节过程更加高效，提升抛光垫的加工精度及生产效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116749080 A
(43)申请公布日 2023.09.15
(21)申请号 202311042637.2
(22)申请日 2023.08.18
(71)申请人 浙江求是半导体设
文档评论（0）