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一种小型化的压电加速度传感器芯片.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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一种小型化的压电加速度传感器芯片.pdf

    本发明公开了一种小型化的压电加速度传感器芯片，包括壳体、质量块、压电感应片、引出导线、支撑层和绝缘基座，所述支撑层分别设置于所述绝缘基座两端，所述压电感应片的两端分别固定于所述支撑层上，所述压电感应片两端分别设置有绝缘层，所述质量块位于所述压电感应片上表面。传感器压电感应片采用氮化铝压电陶瓷膜片，压电陶瓷膜片在受到加速度载荷时发生微压电效应，输出信号电压与加速度近似成线性函数关系，当被测加速度超过一定载荷后，或者测量频率达到传感器特征频率时，压电陶瓷膜片与绝缘基座发生接触，有效地保护了压电加速度

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116754793 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310694249.6 (22)申请日 2023.06.13 (71)申请人 苏州航凯微电子技术有限公司 地址

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