一种晶体材料均一化抛光装置.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶体材料均一化抛光装置,包括:进给单元、夹持单元、抛光单元和控制单元;所述进给单元,用于带动工件沿设定运动轨迹在抛光单元表面运动,并实时将其运动轨迹相关信息反馈至控制单元;所述夹持单元,用于夹持工件并使工件在运动过程中自转,同时用于对工件提供一定的加载力;所述抛光单元,用于对在其表面运动的工件进行抛光;所述控制单元,用于控制所述进给单元的运动轨迹及控制夹持单元的加载力。通过上述方式,本实用新型能够保证工件去除率的均一性、提高工件的几何精度和表面质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210435923 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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