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电池硅片清洗设备.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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电池硅片清洗设备.pdf

    本实用新型提供了一种电池硅片清洗设备，其包括用以实现电池硅片表面制绒的制绒碱洗槽以及与制绒碱洗槽并联设置第一转换槽，第一转换槽具有对电池硅片表面进行制绒的制绒状态以及对在电池硅片背面沉积多晶硅薄层时绕镀至其正面的多晶硅进行去除的第一去绕镀状态；电池硅片清洗设备还具有第二转换槽，第二转换槽具有串接于第一转换槽后侧以与第一转换槽配合去除绕镀至电池硅片正面多晶硅的辅助去绕镀状态以及在第一转换槽未对绕镀至电池硅片正面的多晶硅进行去除时首次实现多晶硅去除的第二去绕镀状态；本实用新型电池硅片清洗设备能同时满

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210443532 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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