原创力文档- 2
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- 2023-09-17 发布于四川
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本实用新型公开了一种六合式晶圆快速冷却系统，其结构包括信号灯、冷却箱、控制按钮、状态显示屏、控制台、排水箱、支撑柱脚、下机台，信号灯胶连接在冷却箱的后方并且与控制台垂直焊接在一起，冷却箱通过铰链铰接在控制台的上方，在结构上设置了六棱装料筒，通过六边形的机构，以前只能装载一个面的晶圆量现在变成六个面，让整体的装载量更多，一次性冷却的晶圆量较多，提高整体的速度，在结构上设置了六合冷却筒，能够同时对六个面上的晶圆进行冷却，并且六个均摊片一对一的方式能够使冷气快速与晶圆进行接触，降低整体的等待时间。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210443528 U
(45)授权公告日
2020.05.01
(21)申请号 20192
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