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本申请涉及高精度气体加热结构及其应用方法,涉及气体加热结构技术领域,高精度气体加热结构包括加热部、导气部和测温部;所述加热部包括热循装置和供热装置,所述供热装置和热循装置相连,以用于向所述热循装置供热;所述导气部包括导气管道,所述热循装置上贯穿设置有用于供导气管道安装的通连通道,所述导气管道内腔用于供气体通过;所述测温部包括预装架和测温件,所述测温件通过预装架设置于导气管道内腔,且所述测温件位于热循装置内腔,以在所述热循装置对位于导气管道内腔的气体加热时,对气体进行测温;应用方法包括供热、通气和
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116772415 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310671669.2 F24H 15/208 (2022.01)
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