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本公开是关于一种研磨垫的制作方法，包括提供基材层，基材层的至少部分表面为发泡材料；于基材层上设置发泡导向结构，发泡导向结构具有多个导向通道；基于发泡导向结构，对发泡材料进行发泡处理，以使得发泡材料沿各导向通道进行发泡，去除发泡导向结构，得到研磨垫，其中，发泡材料发泡得到的发泡结构形成研磨垫的研磨层。本公开的研磨垫的制作方法，可保证得到的研磨垫的研磨层在该延伸方向上形成的孔隙大小均匀，且在延伸方向上，孔隙在各个位置的横截面面积更趋于一致。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116766049 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310965371.2
(22)申请日 2023.07.31
(71)申请人 长鑫科技集团股份有限公司
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