第八章电子光学基础演示文稿.pptVIP

* 球差 球差：球面像差，是由于电磁透镜的近轴端和远轴端对电子的会聚能力不同引起的。 因此从一个物点散射的电子束经过具球差的磁透镜后物象并不会聚一点，而分别会聚于轴向的一定距离上，如图（2-9a）。无论像平面在什么位置，都不能得到清晰的像，而是一个散焦圆斑。在某一位置，可获得最小的散焦圆斑，称为球差最小散焦圆，其半径为： 球差是电子显微镜的最主要的像差之一。它往往决定显微镜的分辨本领。 当前第31页\共有60页\编于星期五\10点 * 减小球差的途径： 减小成像时的孔径角，可使球差明显减小。 当前第32页\共有60页\编于星期五\10点 * 2、像散 像散：是由于透镜磁场的非旋转对称而引起的像差。 主要是生产工艺、透镜污染，使透镜磁场不完全旋转对称，而只是近似的双对称场。这样产生在透镜的XZ、YZ两个对称面方向的焦距不同，使物象不能聚焦，形成弥散的椭圆斑，最小的弥散圆斑半径为a： 图（2-9c） 消除像散的途径：引入校正磁场，通常采用消像散器。 当前第33页\共有60页\编于星期五\10点 * 3、色差 色差：由于入射电子波的波长或能量不均一造成的。图（2-9b） 其效果与球差相似，在轴向距离范围内也存在一个最小的色差弥散圆斑，半径为 rC： Cc为透镜的色差系数，随激励磁电流增大而减小。 引起能量变化