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本发明公开了半导体定位校准系统、半导体工艺设备及定位校准方法。其中定位校准系统包括：设置于转运腔中的第一传感器、第二传感器、第一接收器、第二接收器和定位校准控制器。当所述衬底位于定位位置时，第一传感器与第一反射器的信号传递路线与衬底相切，第二传感器与第二反射器的信号传递路线与衬底相切。定位校准控制器将第一传感器的第一信号信息与第二传感器的第二信号信息进行对比，根据对比结果判定衬底在运送路线中位置是否偏离。本发明实施例提供的技术方案可以实现在衬底运送的途中对衬底进行自动校准定位，能够保证校准的准确
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116779516 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310852291.6
(22)申请日 2023.07.12
(71)申请人 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司
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