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本发明提供了一种高压脉冲发生器升压模块及三维堆叠集成方法，升压模块包括至少两个基板装配后形成的三维堆叠结构，单个基板为带单面腔体或双面腔体的多层布线高温共烧陶瓷基板，基板的腔体底面作为各类元器件的安装面，基板的上下表面作为基板间互联信号的引出面；基板的信号引出面上设计极针或金属化孔，用于基板间的电气互联和结构连接；升压模块输入端基板的信号引出面上设计插针或插孔结构，升压模块输出端基板的信号引出面上设计插针或插孔结构，用于与升压模块外的结构电气连接。本发明采用三维堆叠的集成技术，实现高压脉冲发生器
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116780932 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310585836.1 H05K 7/20 (2006.01)
(22)申请日 2023.05.2
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