一种拉晶系统和硅氧化物收集方法.pdfVIP

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2023-09-20 发布于四川
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一种拉晶系统和硅氧化物收集方法.pdf

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本公开涉及一种拉晶系统和硅氧化物收集方法，该拉晶系统包括拉晶炉、硅氧化物收集单元以及气体回收单元，硅氧化物收集单元的入口与拉晶炉的内部连通，硅氧化物收集单元的出口与气体回收单元的入口连通，硅氧化物收集单元能够对来自拉晶炉的气体中的硅氧化物进行收集。气体回收单元进行工作时，气体回收单元能够将拉晶炉内的气体抽出，当气体经过硅氧化物收集单元时，且该硅氧化物收集单元能够对从拉晶炉内排出的气体中的硅氧化物进行收集，从而实现对硅氧化物的有效回收，避免硅氧化物的浪费。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116770432 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202310618505.3 (22)申请日 2023.05.29 (71)申请人隆基绿能科技股份有限公司地址