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本发明提供一种蒸镀掩膜板，包括掩膜层和固定框架，掩膜层包括多个蒸镀开孔区、四周边缘区和呈网状分布的间隔区，多个蒸镀开孔区排布呈阵列，四周边缘区围设于蒸镀开孔区阵列的外围，间隔区位于任意相邻两个蒸镀开孔区之间，蒸镀开孔区与待镀基板的显示区相对应，还包括中间结构层，固定框架、中间结构层和掩膜层依次叠置，中间结构层和固定框架在掩膜层上的正投影与蒸镀开孔区不交叠；中间结构层能对掩膜层进行支撑和固定。该蒸镀掩膜板能解决目前电铸掩膜板容易出现变形和褶皱不良的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116770226 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310761040.7
(22)申请日 2023.06.26
(71)申请人 京东方科技集团股份有限公司
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