一种自动进出料的真空镀膜箱设备及其使用方法.pdfVIP

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2023-09-20 发布于四川
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一种自动进出料的真空镀膜箱设备及其使用方法.pdf

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本发明涉及光电技术领域，具体涉及一种自动进出料的真空镀膜箱设备及其使用方法，包括镀膜箱，所述镀膜箱内部底面中心位置处设有导轨，所述导轨顶部滑动连接有滑座，所述滑座顶部中心位置处开设有嵌槽，所述嵌槽内部竖向滑动插设有基板主体，所述滑座两侧设有用于控制基板主体运动的传动组件，所述镀膜箱开口一侧设有箱门，所述箱门一端竖向插设有转轴，所述转轴上下两端均转动套设有定位座，所述定位座均分别固定于镀膜箱上下两端，所述转轴顶部设有用于控制箱门自动关闭的联动关闭组件。本发明通过设置的传动组件与同步驱动组件配合使用

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116770230 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202310742932.2 (22)申请日 2023.06.21 (71)申请人温州大学地址 325000