绵阳致知高科技有限责任公司薄膜电路配套光刻药液研制项目环评报告.docxVIP

建设项目环境影响报告表 项 目 名 称：薄膜电路配套光刻药液研制项目 建设单位 (盖章)： 绵阳致知高科技有限责任公司 编制日期：2021 年 02 月 国家生态环境部制 四川省生态环境厅印 《建设项目环境影响报告表》编制说明 《建设项目环境影响报告表》由具有从事环境影响评价资质的单位编制。 1、项目名称——指项目立项批复时的名称， 应不超过 30 个字(两个英文字段 作一个汉字)。 2、建设地点——指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起止终点。 3、行业类别——按国标填写。 4、总投资——指项目投资总额。 5、主要环境保护目标——指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、 医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标、 性质、规模和距厂界距离等。 6、结论与建议——给出本项目规划符合性、清洁生产、达标排放和总量控制 的分析结论， 确定污染防治措施的有效性， 说明本项目对环境造成的影响， 给出建 设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建议。 7、预审意见—— 由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，不填。 8、审批意见—— 由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。 绵阳致知高新科技有限责任公司薄膜电路配套光刻药液研制项目环境影响报告表 四川百翔嘉润环保科技有限公司 —第1页— 建设项目基本情况(表一) 项目名称 薄膜电路配套光刻药液研制项目 建设单位 绵阳致知高新科技有限责任公司 法人代表 联系人 通讯地址 绵阳市经开区贾家店街 89 号 联系电话 *** 邮政编码 621000 建设地点 绵阳市经开区文武中路 218 号 7 栋 5 层 立项审批 部门 绵阳市经济技术开发区经济 发展和科学技术局 批准文号 川投资备 【2020-510796-73-03-472278】 FGQB-0101 号 建设性质 ■新建□ 改扩建□技改 行业类别 及代码 C2669 其他专用化学产品制造 占地面积 (m2 ) 897 绿化面积(m2 ) / 总投资 (万元) 110 其中：环保投 资(万元) 12 环保投资占总 投资比例 10.91% 评价经费 (万元) / 预期投产 日期 2021 年 06 月 由于法人代表、联系人和联系方式等涉及到个人隐私，因此本公示本将其删除。 项目内容及规模： 一、建设项目由来 MEMS 是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。它是指可批量制 作的， 集微型结构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通信和电源于 一体的微型器件或系统。 MEMS 是随着半导体集成电路、微细加工技术和超精密机械加工技 术的发展而发展起来的，目前 MEMS 还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而 进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。 MEMS 由硅片、 Al2O3 瓷片、 AlN 瓷片等基片 上溅射金属薄膜， 采用光刻各向异性刻蚀工艺制造而成， 具有尺寸小， 重量轻、成本低、可靠 性高、抗振动冲击能力强以及易批量生产等优点。MEMS 技术的发展开辟了一个全新的技术 领域和产业，采用 MEMS 技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、 微机械光学器件、真 空微电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事等领域都有着十分广阔的应 用前景。 由于我国 MEMS 行业正处于发展初期，市场需求增长非常迅速，但是配套的高端光刻药 液却依赖于进口。近年来， 我国通过不断地自主研究和引进技术， 逐步实现了部分药液配方及 绵阳致知高新科技有限责任公司薄膜电路配套光刻药液研制项目环境影响报告表 四川百翔嘉润环保科技有限公司 —第2页— 生产工艺的技术突破。而随着经济可持续发展，光刻药液在 MEMS 行业的需求量将会逐步加 大。 绵阳致知高新科技有限责任公司成立于 2014 年 7 月， 注册资本 500 万元， 公司位于绵阳 市经开区贾家店街 89 号。公司自成立起一直从事光刻药液的研发、生产和服务， 经过近 2 年 的研发探索，设计出独有的产品配方、生产工艺和控制指标。基于市场需求和企业自身发展， 绵阳致知高新科技有限责任公司拟在绵阳经开区积家工业园二期内， 实施“薄膜电路配套光刻 药液研制项目”(以下简称“本项目或项目”) ，购置和安装混料罐、过滤器、纯水机等主要 生产设备，建设一条薄膜电路光刻药液的研发生产线 (属于生产线) ，设计生产能力 20.5t/年 薄膜电路光刻药液。 本项目性质为新建。 厂房出租房环保手续履行情况：本项目租用的厂房为绵阳市经开区积家工业园投资有限公 司已建的二期标准厂房，该标准厂房已于 2018 年 05 月办理了环评登记表，具体见附件 4。 根据《中华人民共和