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AMC污染控制方案 AMC污染源 1.1.1洁净室内再循环空气 在洁净室内部，污染源包括洁净室内装修材料（包括墙板、地板、密封胶等填充材料、高效过滤器等）、生产设备、操作工人以及工艺化学品及溶剂在加工过程中或堆放区域的散射或化学释放或偶然的逸出。还包括各制造区域之间的交叉反应引起的污染。 1.1.2外界空气 通常空气中所含的污染物包括：SOx、NOx、O3、NH3、挥发性有机物、硼等（某些特定的区域）。 AMC的影响 分子级空气污染对半导体的影响主要表现为表面分子污染（SMC： SurfaceMolecular Contamination），这是由气态分子和特定表面作用而形成非常薄的化学膜，化