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本实用新型涉及半导体技术领域,具体涉及一种高效散热的半导体器件,包括半导体衬底,还包括导热微纳结构、氮化物器件和氮化物层,所述氮化物器件设有若干个,所述导热微纳结构匹配所述氮化物器件设有若干个,所述氮化物器件和所述导热微纳结构相间设置于所述半导体衬底,所述氮化物器件和所述导热微纳结构紧密接合,所述氮化物层设于所述氮化物器件远离所述半导体衬底一侧,本实用新型结构简单,设计合理,相当于在氮化物器件当中嵌入导热微纳结构做为导热通道,此通道可以通过优化大小与排列,最大限度地提高氮化物外延材料综合导热性能
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210489602 U
(45)授权公告日
2020.05.08
(21)申请号 20192
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