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本发明公开了一种基于视觉传感的ET测试治具清洁监测系统，属于清洁擦拭设备技术领域，包括清洁台和清洁装置，清洁装置包括包括两个输送结构、工作台、安装座、横向移动件、机械臂、连接座、清洁结构、连接架、视觉传感器、控制箱、控制面板和ET治具放置件，工作人员将ET治具放置在工作台上的ET治具放置件上，机械臂控制清洁结构对ET治具表面进行清洁，表面清洁完成后，将ET治具放置件取出，工作人员操作ET治具打开，再放置在ET治具放置件上机械臂再次控制清洁结构对ET治具内部进行清洁，视觉传感器将ET治具的清洁情况
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116786476 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310758198.9 G01F 23/00 (2022.01)
(22)申请日 2023.06.
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