一种硅外延片的生长方法.pdfVIP

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本发明一种硅外延片的生长方法,涉及半导体材料技术领域,首先将经过多道加工工序处理后的单晶硅在650℃以下进行去除单晶硅片表面的自然氧化膜,当自然氧化膜去除后,在单晶硅片的表面上通过使用一氧化二氮分别形成氧原子和单晶硅,其中,氧原子的形成是通过将所述单晶硅晶片暴露于含有所述一氧化二氮的气氛中来进行的,所述单晶硅则在500℃以上且700℃以下的温度下外延生长而形成,当进行多次氧原子和单晶硅的形成工序,交替地形成多个氧原子层和单晶硅层,最终形成硅外延层。通过本发明减少了晶片因局部热损失,从而导致晶片的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116798853 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310584101.7 (22)申请日 2023.05.23 (71)申请人 上海超硅半导体股份有限公司 地址

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