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本发明公开了一种太赫兹波段MEMS复合梁开关，属于射频前端器件技术领域。其由直流端口金属块，直流偏置线，微带线匹配结构，复合梁，中间导通结构，金属电极，氮化硅绝缘层，硅基衬底，金属地组成。该开关为复合固支梁电容式开关，复合梁由二氧化硅材料固支梁及吸附在其下方的金属梁组合而成，直流端口分别经过直流偏置线连接到金属梁锚点位置及金属电极，可以通过直流端口输入不同直流电压控制复合梁的抬起状态与吸附到电极的下拉状态，分别对应着开关的断开状态与导通状态。本发明可以在太赫兹波段350GHz频率以下实现高隔离度
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116799451 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310783506.3
(22)申请日 2023.06.29
(71)申请人 中国电子科技集团
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