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一种探针卡锁紧装置及测试系统.pdfVIP

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  • 2023-09-23 发布于四川
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一种探针卡锁紧装置及测试系统.pdf

    本申请涉及集成电路测试技术领域，公开一种探针卡锁紧装置及测试系统，该探针卡锁紧装置包括：探针塔，探针塔安装于测试头一端，探针塔包括弹簧探针；探针卡，探针卡用于与弹簧探针接触；下压环，下压环的下方圆周均匀排列设置有第一滑块，第一滑块用于在探针卡上进行圆周滑动。本实用新型提供的探针卡锁紧装置，将探针塔安装在测试头一端，并通过下压环下压探针卡，实现在探针台之外的探针卡与探针塔的对接锁紧，能够避免测试头一端与探针台一端对接时，需要对探针塔的弹簧探针与其对接的组件的接触效果进行校正，提高了测试效率。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219737605 U (45)授权公告日 2023.09.22 (21)申请号 202321008597.5 (22)申请日 2023.04.28 (73)专利权人 厦门芯泰达集成电路有限公司 地址

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