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一种高频高耦合系数压电薄膜体声波谐振器.pdfVIP

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  • 2023-09-23 发布于四川
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一种高频高耦合系数压电薄膜体声波谐振器.pdf

    本发明属于射频微机电系统技术领域，具体提供一种高频高耦合系数的压电薄膜体声波谐振器，用以克服现有谐振器单元的耦合系数小的缺点；具体包括：硅基衬底，以及硅基衬底上依次层叠设置的底层质量加载薄膜、压电薄膜及叉指换能器，叉指换能器的相邻电极指条之间均设置有顶层栅条状质量块，顶层栅条状质量块的长边与电极指条平行、短边与电极指条的悬空端平齐。本发明通过质量加载结构有效提高谐振器的耦合系数和Q值，减少杂散损耗，使之适用于做成宽带滤波器；同时，由于采用加载质量块结构，提升了谐振体的散热性能；另外，顶层质量块的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111697943 A (43)申请公布日 2020.09.22 (21)申请号 20201

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