热电式MEMS微波功率传感器及其无线接收检测的研究的中期报告.docxVIP

热电式MEMS微波功率传感器及其无线接收检测的研究的中期报告 本研究致力于研发一种新型的热电式MEMS微波功率传感器，该传感器能够实现高精度的微波功率测量，并且具备无线接收检测的功能。本中期报告主要介绍了研究的进展情况和具体实验结果。 首先，我们完成了微波功率传感器的设计与制造。该传感器采用了热电效应测量微波功率，利用MEMS技术制作热电偶元件，在高温炉中进行烧结和真空封装，最终得到微型化的热电式传感器。实验结果表明，该传感器具有较高的灵敏度和稳定性，并且能够测量6 GHz至40 GHz范围内的微波功率信号。 其次，我们成功实现了热电式传感器与无线接收检测的结合。传感器输出的微波功率信号经过放大和滤波后，采用微控制器进行数字化处理，并通过无线模块传输给接收端。在接收端，我们开发了相应的软件程序，可以实现功率信号的显示和数据存储功能。通过实验测试，我们发现该系统具有良好的传输性能和抗干扰能力。 最后，我们对热电式传感器的性能进行了优化与分析。通过研究传感器的灵敏度、响应速度、线性度和波动等性能指标，我们确定了传感器的最佳工作参数，并对不同频段的微波功率信号进行了测试和比较分析。实验结果表明，我们所设计的热电式MEMS微波功率传感器在高精度、低成本等方面具有优势，具备广泛的应用前景。 综上所述，本研究取得了一定的进展，但仍需进一步优化改进。下一步工作将重点放在对传感器的信噪比、稳定性、微波功率范围等指标进行优化和提高，并探索更多的应用场景和智能化功能。