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本发明公开了一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其包括：腔体上盖、激光头高度微调机构、石英玻璃、玻璃上压盖、用于连接电动转台的密封法兰、探针切换机构、用于发射激光并采集信号的激光头、用于放置样品的真空腔体、用于固定腔体上盖的压盖固定块、用于翻转腔体上盖的翻盖把手、用于连接腔体上盖翻转支架的连接块、样品载动台和样品载动支座。该装置解决了现有技术中的缺陷，能够有效调节激光头高度，适配多种不同聚焦高度和不同类型的激光头，同时能够优化光窗结构，扩大腔体内部空间，并且对探针切换机构进行改造，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109828124 A
(43)申请公布日
2019.05.31
(21)申请号 20191
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