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本公开提供了一种用于清理强化研磨设备加工腔室的装置和方法，其中，装置包括：检测模块，在加工腔室内角落顶端，包括：舵机、红外传感器及固定板；实施模块，在加工腔室上部，包括：步进电机、固定支架、固定架、旋转舵机、舵机支架、旋转支架、喷嘴、倾斜支架、丝杆及滑块，其中，步进电机连接在固定支架上；固定支架连接在加工腔室机箱上方中心；丝杆连接步进电机的主轴通口至加工腔室机箱内部；滑块空心处与丝杆螺纹连接；倾斜支架的下端连接在滑块四周；喷嘴前端与倾斜支架的上端连接，尾部连接高压气管；旋转支架与喷嘴后端连接，上
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116787342 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310792567.6
(22)申请日 2023.06.29
(71)申请人 广州大学
地址 510006
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