原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种基于氧化镓基的日盲紫外探测器及其制备方法。其中，所述探测器包括：所述探测器从下至上依次包括：衬底、p型半导体薄膜；第一金属电极与Ga2O3薄膜形成的叉指结构；设置于Ga2O3薄膜表面的第二金属电极，所述第二金属电极的形状与所述Ga2O3叉指薄膜相契合。本发明采用叉指的方式进行Ga2O3与其他p型半导体异质结探测器的制备，增大了电极周长和0V偏压下载流子收集能力，并且提高反偏压时Ga2O3区域的平均电场强度，增快载流子的迁移速率，达到更高的响应度和更快的响应时间(
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116799092 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310818728.4
(22)申请日 2023.07.05
(71)申请人 厦门大学
地址 3
文档评论（0）