一种叠料定位机构及硅片载具.pdfVIP

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2023-09-23 发布于四川
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一种叠料定位机构及硅片载具.pdf

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本实用新型提供了一种叠料定位机构及硅片载具，解决硅片插入、取出难度增加，加工中发生微量位移造成取放料错位，导致硅片与载料板发生碰撞，造成损伤的问题。叠料定位机构包括杆体，杆体上沿轴向排列若干定料区间，定位区间内由上至下依次排列让料段、过渡段、定料段和挡料凸台，定料段的规格大于让料段的规格，挡料凸台的规格大于定料段的规格，挡料凸台衔接定料段的平面形成载料面。本实用新型将翻转方向上的支撑杆设计成多级台阶的斜坡方式，有效补偿载具进行复杂运动之后发生的微量位移，可以大大增加机械手取放片的安全距离，减少取

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219731054 U (45)授权公告日 2023.09.22 (21)申请号 202320807592.2 H01L 21/673 (2006.01)