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一种ITO旋转靶绑定设备.pdfVIP

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  • 2023-09-24 发布于四川
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一种ITO旋转靶绑定设备.pdf

    本实用新型公开了一种ITO旋转靶绑定设备，包括背管内加热装置、升降平台和工装定位装置，背管内加热装置固定于地面，升降平台滑动安装于背管内加热装置的一侧，背管内加热装置包括加热管和底座，底座固定于地面，加热管竖直安装于底座；工装定位装置包括工装底盘、定位环、拉杆和端盖，加热管穿过工装底盘，工装底盘的一端活动放置于底座，工装底盘的另一端安装有定位环，背管的一端插入至定位环，背管的另一端安装有端盖，工装底盘的边缘设置有底盘孔，端盖的边缘设置有端盖孔，端盖孔与底盘孔的位置相对应，拉杆的两端分别安装于位置

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210506501 U (45)授权公告日 2020.05.12 (21)申请号 20192

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