一种可移动靶的溅射镀膜装置.pdfVIP

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2023-09-26 发布于四川
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一种可移动靶的溅射镀膜装置.pdf

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本实用新型公开了一种可移动靶的溅射镀膜装置，包括真空室，真空室内安装有转架，真空室顶部安装有若干个靶安装板，靶安装板包括第一安装板和第二安装板，第一安装板与真空室顶部连接，第一安装板中部开设有椭圆形通孔，第一安装板两侧开设有圆孔，第二安装板中部开设有用于固定靶的通孔，第二安装板两侧开设有长方形孔，第二安装板通过螺丝设置在第一安装板上，螺丝设置在圆孔和长方形孔上，第二安装板的的通孔与第一安装板的椭圆形通孔重叠。本实用新型实现了靶位置的可移动，通过移动靶的位置，使得靶头与工件之间的距离适当，使得本实

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210529047 U (45)授权公告日 2020.05.15 (21)申请号 20192