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一种真空沉积系统样品加热台，包括样品台、加热装置、温度监测装置和绝缘保护层，所述样品台设有支架并通过所述支架与真空腔内壁连接固定；所述加热装置包括加热电极和加热导线，所述加热电极和加热导线铺设于所述样品台；所述温度监测装置包括温度传感器和温度控制显示器，所述温度监测装置的所述温度传感器设于所述样品台；本实用新型的加热导线可以直接对样品进行加热，具有加热效率高，能耗低的特点，加热丝根据所需温度分布铺设在样品台上，在加热过程中不会变形，从而导致短路等现象发生，加热台还设有温度监测装置，能实时监测和控
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210560721 U
(45)授权公告日
2020.05.19
(21)申请号 20192
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