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一种任意安装角度有机真空蒸发源坩埚，其特征在于，包括坩埚本体和密封带，所述坩埚本体包括顶盖和坩埚壁，所述坩埚本体为U形结构，所述坩埚本体顶部半圆形顶盖可拆卸，所述顶盖通过密封带与所述坩埚壁固定，所述顶盖与所述坩埚壁的连接面为波纹形连接面，且所述连接面表面经过磨砂处理以加强密封性，所述顶盖和坩埚壁靠近所述连接面一端都设有一环形限位密封槽，所述坩埚本体下端开口处设有向坩埚内部凹陷突起形成内部凹槽，所述密封带为环形橡胶密封带，所述密封带内环中间的两侧设置环形限位密封突起，所述环形限位密封突起位置及大小
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210560696 U
(45)授权公告日
2020.05.19
(21)申请号 20192
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