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- 2023-09-27 发布于四川
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本发明揭示了一种减薄方法，将不能被真空吸附台吸附的工件贴附在尺寸能够被真空吸附台吸附的吸附膜上，可以有效在工件不能被真空吸附台吸附时，通过真空吸附台吸附吸附膜从而实现工件在真空吸附台上的固定，为工件的加工提供了基础条件，在不改动设备已有结构的情况下，能够实现不同尺寸、不同形状的零件加工，使用的灵活性更好。在采用顶面具有胶层的吸附膜后，通过第一测量组件实时测得工件顶面的高度，结合事先吸附膜预先确定的吸附膜顶面基准高度来计算工件厚度，而无需在减薄过程中通过第二测量组件与吸附膜保持接触状态，改变了惯用
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116805572 A
(43)申请公布日 2023.09.26
(21)申请号 202311019216.8
(22)申请日 2023.08.14
(71)申请人 江苏京创先进电子
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