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本实用新型公开了一种TVS二极管表层钝化结构，包括设置在二极管台面造型区的防护机构，所述防护机构包括由内至外的衬层、玻璃层、PI膜层、内氧化铝层、中间钝化膜层和外氧化铝层。采用上述技术方案制成了一种TVS二极管表层钝化结构，通过内氧化铝层、中间钝化膜层、外氧化铝层组合成外部钝化结构，减少了单一氧化铝钝化结构的厚度，在保证钝化性能的同时，有提高了钝化结构与硅基体的电性能，PI膜层的设置能够在降低整个器件厚度的同时使其具有较好的绝缘性及抗蚀性，能够在承受高电压的同时保持很低的漏电流，提高了产品的防护
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219759568 U
(45)授权公告日 2023.09.26
(21)申请号 202320827056.9
(22)申请日 2023.04.14
(73)专利权人 美台高科（上海）微电子有限公司
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