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一种用于气相沉积设备的防漏气升降装置.pdfVIP

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  • 2023-09-27 发布于四川
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一种用于气相沉积设备的防漏气升降装置.pdf

    本实用新型属于真空镀膜技术领域，涉及一种用于气相沉积设备的防漏气升降装置，包括基座、设于所述基座下部的升降驱动组件和被所述升降驱动组件直线驱动并在所述基座上方升降的载台，所述升降驱动组件包括连接柱，所述连接柱穿过所述基座且上端与所述载台的下表面连接，所述基座与所述载台之间还设有波纹管，所述波纹管的内壁包围于所述连接柱外，所述波纹管的上端与所述载台的表面之间用第一密封件密封连接，所述波纹管的下端与所述基座的表面之间用第二密封件密封连接。本实用新型通过将波纹管设于升降机构在真空腔内的部分并且在两侧进

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219752412 U (45)授权公告日 2023.09.26 (21)申请号 202320888332.2 (22)申请日 2023.04.19 (73)专利权人 昆山晟成光电科技有限公司 地址

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