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- 2023-09-28 发布于四川
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本实用新型涉及超声波清洗装置领域，公开了一种晶圆的超声波清洗机，包括清洗机主体和清洗试剂出口，所述清洗试剂出口安装在清洗机主体的侧壁上，所述清洗试剂出口上安装有控制阀门，所述清洗机主体内设有用于放置晶圆的放置板，所述放置板上安装有用于对晶圆进行限位的环形限位板，所述放置板和环形限位板上均开设有便于清洗机主体内清洗试剂充分对晶圆进行浸润的限位凸台，所述放置板的下端安装有对其进行升降的伸缩装置，可以将带超声清洗的晶圆放置在放置板上，且放置板可以进行升降，工作人员无需将手放入清洗试剂中，简化操作过程。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210546720 U
(45)授权公告日
2020.05.19
(21)申请号 20192
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