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本实用新型提出的一种晶体生长炉，包括炉体，炉体包括壳体、内筒体和至少一个隔热毡，内筒体采用绝缘保温材料制成，隔热毡设置在内筒体内并将内筒体隔成多个温度区，每个隔热毡中部均设有用于容纳籽晶杆和晶体通过的通孔，每个温度区设有用于测量该区温度的温度传感器，每个温度区的内筒体内侧均设有用于加热该温度区的加热组件，每个温度区对应内筒体和壳体之间设有用于冷却该温度区的冷却组件，每个温度区内设有至少一个导热杆，导热杆穿过内筒体与冷却组件固定连接。本实用新型可自动调节不同温度区的温度，形成适合晶体生长所需的温度
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210560868 U
(45)授权公告日
2020.05.19
(21)申请号 20192
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