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本发明提供一种发光二极管外延片及制备方法、LED,该发光二极管外延片包括衬底、及在衬底上依次沉积的第一半导体层、有源层和第二半导体层,有源层包括M个周期性交替层叠的势阱层、及复合势垒层,复合势垒层沿外延方向包括依次层叠的第一极化调控层、第一势垒子层、第二势垒子层、及第二极化调控层,第一极化调控层为Si掺InGaN层,第一势垒子层为BInGaN层,第二势垒子层为BGaN层,第二极化调控层为Si掺GaN层,本发明中的发光二极管外延片,可以解决势阱层与复合势垒层之间晶格失配,导致InGaN势阱层存在巨
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116825913 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202311041157.4
(22)申请日 2023.08.18
(71)申请人 江西兆驰半导体有
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